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等離子清洗機(jī)

簡要描述:PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的清洗機(jī),等離子腔體為 Φ8.5 “×12“的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號:PCE-8
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2022-09-09
  • 訪  問  量:4005

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間5萬-10萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

  PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的清洗機(jī),等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié),采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理,將對生長具有顯著的作用。配有一個直連式雙旋真空泵,可對腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開啟等。內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),可以精確地控制進(jìn)氣流量。

產(chǎn)品型號

 PCE-8等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

 16″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開啟等

 2內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),可以精確地控制進(jìn)氣流量

技術(shù)參數(shù)

 1電源:AC220V

 2、射頻功率:zui大100W,可在0-100W間調(diào)節(jié)

 3、真空泵功率:<500W

 4、總功率:<600W

 5、射頻:13.56MHz

 6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑 Φ8.5 ",內(nèi)徑 Φ8.2 ",長12",采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密

                               封,法蘭設(shè)有一個Φ60mm的觀察窗口

 7、極限真空度:50mtorr

 8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2ArAirH2O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:620mm×450mm×600mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

 1、直連式雙旋真空泵(240L/min)

 2KF25波紋管

 3KF25手動擋板閥

可選配件

 1300W600W射頻電源(進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn))

 22-6″石英舟(盛放基片)

 32-4通道浮子混氣系統(tǒng)

 42-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)

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