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EQ-TM106膜厚監測儀

簡要描述:EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合*的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2018-11-05
  • 訪  問  量:2358

詳細介紹

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    EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合*的頻率測量技術進行膜厚的在線監測。主要用于MBEOLED熱蒸發、磁控濺射等設備薄膜制備過程中用于膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測EQ-TM106膜厚監測儀根據制備薄膜的實時速率可以輸出PWM(脈沖寬度調制)模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制,從而檢測所制備薄膜的厚度EQ-TM106膜厚監測儀體積小巧可節省實驗室空間,原理簡單,操作方便,尤其適合于實驗室中薄膜制備過程的使用。 

產品名稱

EQ-TM106膜厚監測儀

產品型號

EQ-TM106

主要特點

1可與計算機連接

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態

3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件

4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。

技術參數

EQ-TM106-1監測組件

1、電源:DC  5V(±10%)最大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136Å

4、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度

5、測量速度:100ms-1s/可設置

6、測量范圍:500000Å(

7、標準傳感器晶體:6MHz

8、計算機接口:RS-232/485串行接口波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置數據位8停止位1校驗

9、模擬輸出:8比特分辨率PWM脈寬調制輸出集電極開路或內部5V輸出

10、工作環境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

   11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數碼管LED

4、通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位8位停止位1位奇偶校驗

  5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:Ø14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:Ø3mm,長度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動擋板路管:Ø3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態<200℃,不通水狀態法蘭<100℃

9、電氣接口:BCN插座

標準配件

1

EQ-TM106-1監測組件

1個

2

EQ-TM106-2顯示儀

1臺

3

EQ-TM106-3探頭

1個

 

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